EDX又名显微电子探针,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征X射线,由于不同元素原子的能级结构不同,因此产生特征X射线的特征不同,据此可对样品进行定性分析定性分析元素周期表中Be以上的物质元素。不同元素在不同位置出现峰,峰的高低代表元素的相对含量大小。
EDX原理及图谱代表了什么意思
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