形而上学唯物主义即机械唯物主义，它的代表人物有费尔巴哈、拉美特里、狄德罗、霍尔巴赫、爱尔维修，主要著作有《形而上学导论》、《论物质》、《论人》等。
近代形而上学唯物主义，在总结自然科学成就的基础上，丰富和发展了唯物主义。但它把物质归结为自然科学意义上的原子，认为原子是世界的本原，原子的属性就是物质的属性，因而具有机械性、形而上学性、历史观上的唯心主义等局限性。与古代朴素唯物主义、辩证唯物主义和历史唯物主义的共同点是都坚持了唯物主义方向，认为物质决定了意识，意识是物质的反映，三者有着不可分割的历史联系。